蚀刻未净的原因有:
1、蚀刻速度过快
2、蚀刻药水太稀
对策:可适当降低蚀刻速度
线幼的原因有:
1、蚀刻温度过高
2、显影速度太慢
对策:
1、降低蚀刻温度
2、加快显影速度太慢
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